En una conferencia en Ámsterdam, Kevin Zhang dijo que es posible que las plantas A16 de la empresa se diseñen para acomodar la tecnología, pero que no es seguro. TSMC es el mayor usuario de las máquinas EUV normales de ASML.
TSMC dice que la máquina High NA EUV de ASML no es necesaria para el nodo A16
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