ASM International N.V. presentó el sistema de horno vertical SONORA® con cámaras de reactores duales para obleas de 300 mm. Los reactores de doble bote del sistema producen el mayor rendimiento disponible en su clase, aumentando la utilización del reactor hasta prácticamente el 100%, al tiempo que garantizan el menor capex. El nuevo SONORA® es totalmente compatible con el A412™ original, por lo que las recetas de proceso existentes se transfieren fácilmente, acelerando la cualificación del sistema y su puesta en marcha.

Las entregas del sistema han comenzado a realizarse a múltiples clientes en todo el mundo, entre ellos líderes en la fabricación de dispositivos lógicos avanzados y de potencia. El sistema de horno vertical A412™ predecesor de ASM tiene un historial probado de más de 1.000 reactores enviados a clientes de todo el mundo y más de 22 años de madurez en la fabricación de semiconductores. El nuevo SONORA® tiene una novedosa arquitectura de sistema que maximiza la productividad del espacio en planta así como el área de servicio.

Sus módulos de proceso dedicados cuentan con miniambientes de alta pureza controlados individualmente. El innovador sistema de inyección de gas de la empresa para el procesamiento a baja presión proporciona las mejores uniformidades de las películas depositadas entre las obleas individuales en tamaños de carga más grandes. Estos mayores tamaños de carga de las obleas de proceso, combinados con el sistema de control actualizado, los nuevos robots, el enfriamiento más rápido de las obleas y los módulos de intercambio de botes más rápidos generan hasta un 30% más de productividad, en comparación con su predecesora.

La mayor productividad también se traduce en un menor uso de energía y productos químicos por oblea. Se ha prestado especial atención al diseño para la facilidad de servicio, lo que ha permitido un amplio acceso para todas las actividades de mantenimiento. El nuevo sistema se ha modernizado aún más con una interfaz gráfica de usuario intuitiva, un mantenimiento predictivo mediante diagnósticos de control avanzados y una instalación plug & play.

Los clientes pueden contar con que la SONORA ofrece una mayor fiabilidad y una mayor facilidad de uso con un rendimiento de producción que logra una mayor repetibilidad, productividad y aprovechamiento del tiempo. Al igual que su predecesora, la SONORA ofrece una amplia cartera de aplicaciones de proceso que incluye procesos de deposición química de vapor a baja presión como películas de silicio y nitruro de silicio dopadas, procesos de difusión como la oxidación húmeda y los procesos de recocido, así como una cartera líder de materiales de deposición de capas atómicas.