KLA Corporation ha anunciado el lanzamiento del revolucionario sistema de metrología por rayos X Axion® T2000 para fabricantes avanzados de chips de memoria. La fabricación de chips 3D NAND y DRAM implica la formación precisa de estructuras extremadamente altas con agujeros y zanjas profundos y estrechos, y otras formas arquitectónicas intrincadas u todo ello requiere un control a nivel de nanoescala. La Axion T2000 incorpora tecnologías patentadas que potencian su capacidad para medir las características de los dispositivos de alta relación de aspecto con una combinación sin precedentes de resolución, exactitud, precisión y velocidad.

Al descubrir las pequeñas anomalías de forma que pueden afectar al rendimiento de los chips de memoria, la Axion T2000 ayuda a garantizar el éxito de la producción de los chips de memoria utilizados en aplicaciones como la 5G, la inteligencia artificial (IA), los centros de datos y la computación de borde. El Axion T2000 es un sistema CD-SAXS (dispersión de rayos X de ángulo pequeño en dimensiones críticas), que aprovecha tecnologías de rayos X únicas en la industria para producir mediciones de alta resolución de dimensiones críticas y formas 3D de las características de los dispositivos de memoria. Una fuente de alto flujo proporciona rayos X que se transmiten a través de toda la estructura vertical de la memoria, independientemente de su altura actual o futura, lo que permite la medición de formas complejas de dispositivos.

Una platina con rango dinámico ayuda a obtener imágenes de difracción en múltiples ángulos para ofrecer una rica información geométrica en 3D. Los novedosos algoritmos AcuShape® facilitan la medición de muchos parámetros críticos del dispositivo y la extracción de variaciones sutiles que pueden afectar a la funcionalidad final del chip de memoria. Con estas innovaciones, la Axion T2000 produce de forma no destructiva los datos de metrología dimensional necesarios para ayudar a los fabricantes de memorias a optimizar, supervisar y controlar en línea los pasos clave del proceso.