Onto Innovation Inc. se dedica al diseño, desarrollo, fabricación y asistencia de herramientas de metrología e inspección para la industria de semiconductores. Los productos de la empresa incluyen sistemas de metrología automatizados; sistemas de metrología integrados; inspección/caracterización de toda la superficie de obleas de silicio; inspección de macrodefectos; clasificación automatizada de defectos y análisis de patrones; análisis de rendimiento; metrología de películas opacas, y otros. Sus productos son utilizados principalmente por fabricantes de obleas de silicio, fabricantes de circuitos integrados de semiconductores y fabricantes de envases avanzados que operan en el mercado de los semiconductores. Sus productos también se utilizan para el control de procesos en otros mercados de fabricación de dispositivos especializados, como los diodos emisores de luz, los láseres emisores de superficie de cavidad vertical, los sistemas microelectromecánicos, los sensores de imagen CMOS, los dispositivos de potencia de silicio y semiconductores compuestos, los dispositivos analógicos, los filtros de radiofrecuencia, el almacenamiento de datos y determinadas aplicaciones industriales y científicas.