PARK SYSTEMS CORP. Park Systems ha anunciado el lanzamiento de su línea de productos Park NANOstandardo. Esta nueva línea de productos proporciona muestras estándar de calibración para mediciones AFM y SEM, permitiendo a los usuarios medir y analizar con precisión sus muestras. El Park NANOstandard es equivalente a los productos trazables al NIST para medir, entre otros, las dimensiones críticas (CD) de patrones semiconductores.
Los productos Park NANOstandard incluyen el caracterizador de puntas de AFM (AFMTC) y la calibración de gran aumento (HMC). El AFMTC es una muestra de calibración diseñada para evaluar el radio y el ángulo de medio cono de una punta de microscopio de fuerza atómica (AFM). Está nanopatternada con anchos de línea que van de 10 nm a 50 nm.
Es trazable al Instituto Coreano de Investigación de Estándares y Ciencia (KRISS) para ISO 17034:2016 y es trazable a través de la constante de red atómica en el sustrato de silicio por HR-TEM. También se proporciona un programa de software para la calibración y el cálculo de la incertidumbre. La muestra patrón HMC está hecha de silicio policristalino y tiene cinco valores certificados para anchuras de línea que van de 20 nm a 80 nm y cinco valores certificados para valores de paso que van de 100 nm a 900 nm.
La muestra patrón HMC es trazable al KRISS para ISO 17034:2016. También es trazable a través de la constante de red atómica en el sustrato de silicio por microscopía electrónica de transmisión de alta resolución (HR-TEM). Los productos Park NANOstandard son fabricados en colaboración con Park Systems por Kims Reference Corp.
La línea de productos Park NANOstandard está diseñada para proporcionar una calibración fiable y precisa de los sistemas AFM y SEM, permitiendo a los usuarios medir y analizar con exactitud sus muestras.
