Axcelis Technologies, Inc. Anuncia el envío del implantador 'Purion EXE SiC Power Series' y el cierre con éxito de la evaluación del 'Purion H200 SiC Power Series' a los principales fabricantes de dispositivos de potencia de Japón
02 de abril 2024 a las 14:00
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Axcelis Technologies, Inc. ha anunciado el envío de la implantadora de alta energía Purion EXE SiC de la empresa, así como un exitoso cierre de evaluación de la implantadora de energía media Purion H200 SiC en los principales fabricantes de chips de dispositivos de potencia ubicados en Japón. Los sistemas se utilizarán para la producción en 150 mm y 200 mm de dispositivos de potencia de carburo de silicio para aplicaciones de automoción, industriales, energéticas y otras aplicaciones de alto consumo energético.
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Axcelis Technologies, Inc. diseña, fabrica y presta servicios de implantación de iones y otros equipos de procesamiento utilizados en la fabricación de chips semiconductores. La empresa ofrece una línea completa de implantadores de alta energía, alta corriente y corriente media para todos los requisitos de aplicación. Además de los equipos, la empresa ofrece una amplia gama de productos y servicios para el ciclo de vida posventa, como herramientas usadas, piezas de repuesto, actualizaciones de equipos, servicios de mantenimiento y formación de clientes. Sus sistemas insignia Purion se basan todos en una plataforma común, que permite una combinación de pureza de implante, precisión y productividad. Combinando una única estación de extremo de oblea, con arquitecturas avanzadas de haz puntual (que garantiza que todos los puntos de la oblea vean la misma condición de haz en el mismo ángulo de haz), los productos Purion permiten el control del proceso para optimizar el rendimiento y las prestaciones del dispositivo, con una alta productividad. La empresa vende sus productos a fabricantes de chips semiconductores de todo el mundo.
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