ACM Research, Inc. a través de su filial operativa ACM Research (Shanghai), Inc., presentó su herramienta Ultra Track, marcando su entrada en el mercado de las pistas. La participación de ACM en esta nueva categoría de productos es una evolución natural de su experiencia en sistemas de limpieza, recubrimiento y desarrollo. La empresa completó la I+D de su primera herramienta de recubrimiento y revelado independiente para envases en 2013 y las entregó en 2014. ACM espera enviar la primera herramienta Ultra Track Coater/Developer ArF a un cliente nacional chino en unas semanas, y un modelo i-line en 2023, y también ha comenzado el desarrollo de un modelo KrF.

La Ultra Track de ACM es una herramienta de proceso de 300 mm que ofrece un flujo descendente de aire uniforme, un manejo rápido del robot y un software personalizable para satisfacer los requisitos específicos del cliente. La herramienta cuenta con múltiples características que mejoran el rendimiento en cuanto a defectuosidad, rendimiento y coste de propiedad. La Ultra Track soportará toda la gama de aplicaciones litográficas, incluidos los procesos i-line, KrF y ArF.