Axcelis anuncia múltiples envíos de implantadores Purion H200 Si y Sic Power Series
23 de junio 2022 a las 14:00
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Axcelis Technologies, Inc. ha anunciado múltiples envíos de los implantadores de alta corriente Purion H200 Si 200mm y SiC Power Series(TM) 150mm de la empresa a los principales fabricantes de chips de dispositivos de potencia. Los envíos, que incluyeron dos nuevas penetraciones y un pedido de seguimiento, se dirigieron a fabricaciones situadas en Asia. Estos clientes utilizarán los sistemas en la producción de grandes volúmenes de dispositivos de potencia para los mercados de dispositivos de automoción.
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Axcelis Technologies, Inc. diseña, fabrica y presta servicios de implantación de iones y otros equipos de procesamiento utilizados en la fabricación de chips semiconductores. La empresa ofrece una línea completa de implantadores de alta energía, alta corriente y corriente media para todos los requisitos de aplicación. Además de los equipos, la empresa ofrece una amplia gama de productos y servicios para el ciclo de vida posventa, como herramientas usadas, piezas de repuesto, actualizaciones de equipos, servicios de mantenimiento y formación de clientes. Sus sistemas insignia Purion se basan todos en una plataforma común, que permite una combinación de pureza de implante, precisión y productividad. Combinando una única estación de extremo de oblea, con arquitecturas avanzadas de haz puntual (que garantiza que todos los puntos de la oblea vean la misma condición de haz en el mismo ángulo de haz), los productos Purion permiten el control del proceso para optimizar el rendimiento y las prestaciones del dispositivo, con una alta productividad. La empresa vende sus productos a fabricantes de chips semiconductores de todo el mundo.
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