Onto Innovation Inc. ha anunciado el lanzamiento del nuevo sistema de inspección y metrología Firefly G3 para el control automatizado de procesos durante la producción de gran volumen de sustratos a nivel de panel. El sistema Firefly G3 se envió a un cliente de primer nivel que admite una variedad de paquetes a nivel de panel basados en chiplets de AI y se espera que varios clientes adicionales reciban la entrega en la primera mitad de 2024. Las capacidades de inspección y metrología del sistema Firefly G3 complementan de forma única la familia JetStep de Onto de sistemas de litografía a nivel de panel, utilizando un software propio de alimentación y retroalimentación, proporcionando datos de alta resolución para optimizar la precisión de la superposición capa sobre capa en todas las capas de cada lado del panel que se está procesando, una capacidad única para mejorar el rendimiento y las prestaciones actuales del panel.

Este sistema Firefly de nueva generación va más allá de la inspección y la metrología 2D, ya que admite pasos adicionales de control del proceso gracias a la introducción de sensores de metrología 3D. Con los sensores 3D de nueva generación, el sistema puede medir el grosor de las películas y la altura de las líneas RDL metálicas. La adición de estos sensores permite a los clientes recopilar los datos críticos necesarios para madurar su proceso en menos tiempo.