CyberOptics Corporation expondrá en SEMICON West 2022 HYBRID, que tendrá lugar el 12–14 de julio de 2022 en el Moscone Center de San Francisco y en línea las 24 horas del día. La empresa lanzará su Sistema de Enseñanza Automática WaferSense® de próxima generación™ (ATS2) y el nuevo Sistema de Enseñanza Automática ReticleSense®™ (ATSR) en el stand #1241. El ATS2 y el ATSR son sensores multicámara que se utilizan con el software CyberSpectrum™ para enseñar la calibración precisa de la oblea y la retícula para una correcta alineación y puesta a punto de las herramientas de semiconductores. Los sensores "ven" el interior para capturar datos tridimensionales de desviación (x, y y z) en tiempo real para enseñar rápidamente las posiciones de transferencia de obleas y retículas, todo ello sin abrir las herramientas.

Los ingenieros de procesos y equipos pueden realizar configuraciones y comprobaciones de mantenimiento repetibles y reproducibles, acelerar la resolución de problemas y eliminar las variaciones entre técnicos. CyberOptics también demostrará los sensores WaferSense® de nivelación, vibración, separación, humedad relativa, resistencia y partículas en el aire.