Park Systems Corp. presentó su producto más reciente, el Park NX-IR R300, un sistema de espectroscopia infrarroja (IR) a nanoescala para aplicaciones industriales. El Park NX-IR R300 es un espectroscopio de infrarrojos y un microscopio de fuerza atómica integrados en uno, para obleas semiconductoras de hasta 300 mm.

Proporciona información sobre propiedades químicas, así como datos mecánicos y topográficos para la investigación de semiconductores, el análisis de fallos y la caracterización de defectos con una nano resolución sin precedentes. Park NX-IR R300 combina la espectroscopia IR más avanzada de microscopía de fuerza fotoinducida (PIFM) en la plataforma de AFM de 300 mm Park NX20, líder del sector. La espectroscopia PIFM proporciona una identificación química por debajo de los 10 nm de resolución espacial.

Utiliza una técnica sin contacto que ofrece un sondeo espectroscópico sin daños, mayor resolución y precisión en todos los barridos. Además, el PIFM de Park proporciona al usuario información espectroscópica a distintas profundidades, lo que ofrece una visión inestimable de la composición de la muestra.