Empresa VM Inc.

VM Inc, anteriormente Adaptive Plasma Technology Corp, es una empresa con sede en Corea dedicada principalmente a la fabricación y venta de equipos de grabado que se utilizan para la fabricación de semiconductores. El perfil de productos de la empresa consiste en grabadores en seco, grabadores de diodos emisores de luz (LED), grabadores de vías de silicio pasantes (TSV), sistema de dopaje por plasma, sistema de aserrado por plasma y otros. Las grabadoras en seco incluyen grabadoras de óxido, grabadoras de polisilicio (Poly) y grabadoras de metal. El producto principal es el sistema de grabado de poli de 300 mm, que se compone de puerto de carga, módulo frontal del equipo (EFEM), módulo tampón (BM), módulo de transferencia (TM) y módulo de proceso (PM).